日本進口OKKSG大宮工業(yè)晶圓移載機OTS-15
簡要描述:
日本進口OKKSG大宮工業(yè)晶圓移載機OTS-15OTD-25OTD-35類型表達式OTS-15OTS-15(獨立)OTD-25OTD-25(桌面類型)OTD-35OTD-35(桌面類型)步進數(shù)I. 舞臺(盒式×1)II 階段(盒式× 1, 船× 1)III 階段(盒式× 2, 船× 1)驅動系統(tǒng)電機驅動(伺服)轉移格式1ca 異種盒間移載1ca t
產(chǎn)品型號:OTD-25
產(chǎn)品時間:2024-05-22
日本進口OKKSG大宮工業(yè)晶圓移載機OTS-15
OTD-25
OTD-35
特點
粒子生成預防
電機驅動可防止顆粒生成。
*的晶圓夾頭結構
我們*的晶圓夾頭結構可抑制晶圓輸送過程中的晃動,確保轉移到石英船,并準確、安全地運輸重物,如化合物晶圓
特點
粒子生成預防
電機驅動可防止顆粒生成。
*的晶圓夾頭結構
我們*的晶圓夾頭結構可抑制晶圓輸送過程中的晃動,確保轉移到石英船,并準確、安全地運輸重物,如化合物晶圓
類型表達式 | OTS-15 (獨立) | OTD-25 (桌面類型) | OTD-35 (桌面類型) |
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步進數(shù) | I. 舞臺 (盒式×1) | II 階段 (盒式× 1, 船× 1) | III 階段 (盒式× 2, 船× 1) |
驅動系統(tǒng) | 電機驅動(伺服) | ||
轉移格式 | 1ca 異種盒間移載 | 1ca to 1bt 雙向移載 | 2ca to 1bt 雙向移載 |
轉移 斯皮德 | Min40秒 + 盒式交換時間 | Min50 秒(可調節(jié)) | Min90 秒(可調節(jié)) |
設備尺寸 | W400×D510×H1187(㎜) | W433×D490×H625(㎜) | W629×D490×H625(㎜) |
安全機制 | 盒有無、晶片有無、過載檢測、異常警報、緊急停止 | ||
電源 | AC200V(50/60Hz) |
日本進口OKKSG大宮工業(yè)晶圓移載機OTS-15
半導體和零件制造設備
- 旋轉干燥機
它是一種通過旋轉產(chǎn)生的離心力和吸入氣流的作用來
干燥晶圓上的水滴和水分的裝置。 - 晶圓移載機
將晶圓從載體或載體雙向傳輸?shù)?br _istranslated="1" style="box-sizing: border-box;"/>船的設備。
- 托架清洗機
晶圓載體和載體盒的
清潔和干燥設備。 - 晶圓安裝器
具有層壓機和安裝器兩種
功能的膠帶貼片裝置。 - BG 膠帶層壓機
用于粘貼用于表面保護的背磨
膠帶的自動設備。 - 磁帶刪除器
使用剝離膠帶剝離保護膜(如晶圓或貼在基板上的 BG 膠帶)的設備。
- 紫外線照射機
UV 固化膠帶/薄膜的紫外線照射和
固化設備。 - 晶圓擴展器
它是一種晶圓擴展裝置,只需輕輕一觸,即可嵌入夾持環(huán)并
切割膠帶。